1 影像测量仪的结构组成及光学原理特点
影像测量仪一般由机械、光学、图像采集、计算机处理和测量软件等六部分组成，。影像测量仪的光学原理与普通投影仪很类似，影像测量仪， 区别在于影像前者被测件的轮廓影像被CCD 传感器接收并由计算机进行图像采集和处理， 后者则直接把影像投射到投影观测屏，二次元影像测量仪， 轮廓对准有操作者的人眼完成，因而导致两者测量精度和自动化程度相差很大，另外还有高度测量的功能。
影像测量仪一般具有较大的测量范围， 通常配备有( 0. 7 @ ~ 4. 5 @ )的变焦物镜， 照明光源除了常见的底光和顶光外，遵义测量仪， 还有环形照明光，三坐标测量仪， 适合于底光和顶光都不能有效照明时应用
影像仪误差来源:
1)光栅计数尺的误差;
2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;
3)工作台两测量轴垂直度带来的误差;
4)显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差;
5)测量室温度偏离校准要求的参考温度带来的误差;
6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。
在以影像测量工件样品结构的几何尺寸时， 光照明条件的改变将会直接影像被测尺寸， 如线宽、圆直径及其他几何形位公差， 因次要确保取到的边界点是产品需要检测的边界 ， 在高精度测量中， 这是导致测量不确定度增大的关键因素， 应引起足够重视。
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