影像仪误差来源:
1)光栅计数尺的误差;
2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;
3)工作台两测量轴垂直度带来的误差;
4)显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差;
5)测量室温度偏离校准要求的参考温度带来的误差;
6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。
在以影像测量工件样品结构的几何尺寸时， 光照明条件的改变将会直接影像被测尺寸， 如线宽、圆直径及其他几何形位公差， 因次要确保取到的边界点是产品需要检测的边界 ， 在高精度测量中， 这是导致测量不确定度增大的关键因素， 应引起足够重视。
对于二者的选择，要根据测量需求进行选取。影响测量仪采用非接触式测量，荣昌影像测量仪，使用冷光源系统，可以避免容易变形的工件在测量时因为热而变形所产生的误差。可检测橡胶、软塑料等工件，而且工件随意放置。三坐标则可以自如的测量三维立体工件。测量高精的几何零件和曲面、复杂形状的机械零部件、自由曲面、可选用接触式或非接触式测头进行连续扫描。现在的市场需求越来越集成化，影像测量仪，既需要三维尺寸数据，影像测量仪参数，又可以光学测量的测量仪有没有呢？
目前蔡司研发的复合式三坐标测量仪（O-INSPECT）综合了测量技术与光学技术：除了接触式测量系统之外，还具有光学传感器。在塑料工业、医疗和电子及精密机械应用中较好的方案，特别是在必须快速和大批量，以高精度测量零部件时。
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